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Alpha-Step D-600臺階儀探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發和生產環境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和光學系統以及加強視頻控制。
P-17臺階儀是臺式探針輪廓儀，是多年的表面量測經驗的結晶。支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能，適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現可靠地薄膜測量。大多數厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就可以獲得準確的數據。還可以測量大多數樣品的光學常數和其他薄膜特性。
智能型多功能橢偏儀是一款針對單層和多層薄膜進行簡單，快速，準確表征和分析的工具。 多功能性設計，配置靈活，具備多角度測量能力，可方便實現在線與離線配置切換。
Lumina AT2 薄膜缺陷檢測儀：實現亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。實用于透明、硅、化合物半導體和金屬基底。
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