薄膜厚度測量儀-膜厚儀結合顯微鏡的薄膜測量系統

Filmetrics F40 SS-Microscope-VIS-1系統                                  Filmetrics F40-UV SS-Microscope-UVX-1系統

Filmetrics薄膜厚度測量儀-膜厚儀的精密光譜測量系統讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學常數，通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析，幾秒鐘內就可測量結果。

當測量需要在待測樣品表面的某些微小限定區域進行，或者其他應用要求光斑小至1微米時，可以使用F40。使用先前足部校正顯微鏡的物鏡，再進行測量，即可獲得精準的厚度及光學參數值。只要透過Filmetrics的C-mount連接附件，F40就可以和市面上多數的顯微鏡連接使用。C-mount上裝備有CCD攝像頭，可以讓用戶從電腦屏幕上清晰地看樣品和測量位置。

相關應用

半導體制造                              生物醫學原件

• 光刻膠                              • 聚合物/聚對二甲苯

• 氧化物/氮化物                          • 生物膜/球囊壁厚度

• 硅或其他半導體膜層                      • 植入藥物涂層

微電子                                液晶顯示器

• 光刻膠                              • 盒厚

• 硅膜                                • 聚酰亞胺

• 氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡                    • 導電透明膜